SiH4-Leckage-Training bei der Halbleiterproduktion

人員至現場警戒 Zuständige Mitarbeiter vor Ort.
人員至ERC室拿取設備 Notfallteam-Mitarbeiter übernehmen Ausrüstung von der Notfallzentrale.
值班主管確認狀況 Schichtleiter identifiziert die Situation.
引導人員會同值班主管 Notfallteam und Schichtleiter leiten an.
應變人員進行應變器材著裝 Notfallteam-Mitarbeiter setzen Notfallausrüstung ein.
現場量測洩漏濃度 Vor-Ort-Messung der SiH4-Konzentration.
廠務配合設備關閉VMB Kontrollierte VMB-Abschaltung je nach Lage durch Spezialisten.