技術と製造工程

技術と製造工程

技術と製造工程

最先端の製造工程と技術転移

ヨーロッパ及び日本のトップメーカーから最先端の技術と設備を取得し、製造工程技術の移転を通じて、優秀な製品の生産技術水準を急速に高めています。

自らによる技術向上

現有の基礎のもと、引き続き研究開発と創作をおこなって技術水準を高め、太陽エネルギー電池生産の品質面での成長を追及します。

産業の壁を越えた経験の統合

生産チームは台湾における半導体製造と電子科学技術の豊富な経験を結合し、卓越した技術と十分な競争力を有しています。

強固な研究開発背景

長期にわたり国内外の学術研究機構と密接に協力するとともに、台湾政府と学識専門家の強力な支持を得て、強力な技術開発の背景を構築しています。

Standard Production Process

粗雑化エッチング

入荷材料の検査を通過するシリコンウェハーは、この段階でスライス片のノコギリあとを除去すると共に、酸性液でウェハー表面をエッチングして粗雑面にして、入射光の反射率を低下させ、入射光のエネルギーを十分に利用させます。

 

リン拡散

ウェハーは高温炉中でリンを含むガスを通し、ホールが比較的多いP型シリコンウェハーの表層にリンをしみ込ませて、電子が比較的多いN型領域を形成させます。これがつまり光電変換効果に必要なP-N junctionです。

 

PSG膜エッチング

リン拡散の過程中、ウェハー外層全体にリンガラスが形成され、必ず酸洗いで除去してから、ようやく後続の工程を行うことができます。

 

プラズマ助成化学蒸着

高温炉中でテトラヒドリドけい素をアンモニアと反応させると、ウェハー表面に窒化けい素の耐反射蒸着層が形成されます。その色は主にブルーですが、蒸着層の厚さが異なるため、青紫やライトブルーを呈することもあります。

 

スクリーン印刷

表面裏面の様々な太さの電極は全てスクリーン印刷の方法により、銀やアルミニウムを含むスラリーでウェハー表面に印刷されています。この工程は3段階に分けて行い、第1段階で表面を印刷、第2段階は裏側の太い電極を印刷、第3段階はアルミニウムスラリーで裏側の残りの面積全体を印刷します。各段階の間で、いつも乾燥炉と光学検査システムを通して、スクリーン印刷の内容と位置決めの正確さを確保します。

 

高速焼結

金属スラリーはスクリーン印刷、乾燥のステップを通り、焼結処理を経てようやく表面の窒化けい素の蒸着層を貫き、またシリコンウェハーの表層にしみ込んで、緊密に結合させると同時に電流を導き出すことができます。各段階の熱処理の温度設定は製品の効率と太い電極のはんだ付け性、溶接の強度全てに影響があります。

 

レーザーエッジアイソレーション

P型シリコンウェハーで製作する太陽電池は表面をマイナス極(-)、裏面をプラス極(+)とします。ウェハーのエッジのプラス・マイナス両極間でショート現象が起こることを避けるため、レーザービームでウェハーのエッジに沿って、P-N junctionの深さ以上の溝を1本切りださなければならず、このようにしてようやく正確に電流を導き出すことができます。この機能もプラズマ処理や化学エッチング工程によって行うことができます。

 

有効性テストと分類

全ての製品は全自動設備で表面、裏面の外観の検査と、光電変換効率などの電気性データを計測後、弊社設定の製品分類定義により、ふるい分け分類を行います。そのうち、校正に用いる電気性計測機の標準片は、定期的にドイツのFraunhofer ISEへ送って検査し、製品に標示する効率等級の正確性を確保しています。